平行平晶檢定規(guī)程

　　平行平晶檢定規(guī)程是確保平行平晶測(cè)量準(zhǔn)確性和可靠性的重要依據(jù)。以下是根據(jù)相關(guān)參考文章整理的平行平晶檢定規(guī)程的主要內(nèi)容：

　　一、范圍

　　本規(guī)程適用于平面平晶、平行平晶和長(zhǎng)平晶（以下統(tǒng)稱平晶）的定型鑒定、首次檢定、后續(xù)檢定和使用中檢驗(yàn)。

　　二、引用文件

　　規(guī)程可能引用一系列相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)文件，如《平面平晶》（JB/T7401-1994）、《平行平晶》（JB/T7402-1994）、《通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義》（JJF1001）、《測(cè)量不確定度評(píng)定與表示》（JJF1059）等。使用本規(guī)程時(shí)，應(yīng)注意使用上述引用文獻(xiàn)的現(xiàn)行有效版本。

　　三、概述

　　平行平晶是以光波干涉法測(cè)量平面的平面度、直線度、研合性以及平行度的計(jì)量器具。其外形可分為多個(gè)系列，每個(gè)系列中尺寸相鄰的四塊可組成一套。

　　四、計(jì)量性能要求

　　平行度：

　　平行平晶兩工作面的平行度需滿足特定要求，具體數(shù)值可能因系列和等級(jí)不同而有所差異。

　　工作面平面度：

　　平面平晶工作面的平面度在不同直徑范圍內(nèi)有不同要求，如一等標(biāo)準(zhǔn)平晶在有效直徑內(nèi)的平面度不大于0.03μm，任意兩相互垂直截面方向的平面度之差不大于0.015μm等。

　　平行平晶工作面的平面度不大于0.1μm（在有效直徑外允許塌邊），中間2/3直徑范圍內(nèi)的平面度不大于0.05μm。

　　非工作面的平面度：

　　平面平晶非工作面的平面度通常有一定限制，如不超過(guò)3.0μm。

　　穩(wěn)定性：

　　對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)平晶和長(zhǎng)平晶，兩次周期檢定的平面度之差需滿足特定要求，以確保其穩(wěn)定性。

　　五、通用技術(shù)要求

　　外觀及表面質(zhì)量：

　　平晶表面應(yīng)無(wú)破損，玻璃材質(zhì)應(yīng)透明，無(wú)明顯的氣泡和條紋。

　　使用中的平晶工作面允許有不影響準(zhǔn)確度和不損傷被測(cè)量具工作面的劃痕和破損。

　　外形尺寸：

　　平晶的外形尺寸需符合特定規(guī)定，如平面平晶、平行平晶和長(zhǎng)平晶的外形尺寸各有不同的要求。

　　長(zhǎng)平晶十字刻線位置：

　　長(zhǎng)平晶的非工作面上有表示受檢點(diǎn)位置的十字刻線，其位置和間隔需滿足特定要求。

　　兩端面夾角：

　　平面平晶和長(zhǎng)平晶的工作面與其對(duì)應(yīng)面的夾角需滿足特定要求，以確保測(cè)量的準(zhǔn)確性。

　　工作面與圓柱母線的垂直度：

　　平行平晶工作面與圓柱母線的垂直度需小于一定角度，如小于1°。

　　六、計(jì)量器具控制

　　計(jì)量器具控制包括首次檢定、后續(xù)檢定和使用中的檢查。檢定前需將平晶放置在特定溫度和濕度的檢定室內(nèi)進(jìn)行等溫處理，等溫時(shí)間需滿足特定要求。檢定過(guò)程中需使用特定設(shè)備和方法進(jìn)行檢測(cè)，并對(duì)檢定結(jié)果進(jìn)行處理和記錄。

　　七、檢定周期

　　平晶的檢定周期可能根據(jù)具體情況而定，需按照相關(guān)規(guī)定進(jìn)行定期檢定以確保其測(cè)量準(zhǔn)確性和可靠性。

　　請(qǐng)注意，以上內(nèi)容僅為平行平晶檢定規(guī)程的概述，具體規(guī)程可能因版本和地區(qū)不同而有所差異。在實(shí)際應(yīng)用中，應(yīng)參考最新版本的檢定規(guī)程進(jìn)行操作。